Atomic Layer Deposition of TiO 2 Thin Films from Ti(O i Pr) 2 (dmae) 2 and H 2 O
Lee, Jae P ; Park, Mi H ; Chung, Taek-Mo ; Kim, Yun-Soo ; Sung, Myung M
Bulletin of the Korean Chemical Society, 2004, Vol.25 (4), p.475-479
[Periódico revisado por pares]
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