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Fabrication of Al doped ZnO films using atmospheric pressure cold plasma
Suzaki, Yoshifumi ; Miyagawa, Hayato ; Yamaguchi, Kenzo ; Kim, Yoon-Kee
Thin solid films, 2012-11, Vol.522, p.324-329
[Periódico revisado por pares]
Amsterdam: Elsevier B.V
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