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Heating of polymer substrate by discharge plasma in radiofrequency magnetron sputtering deposition

Sirghi, Lucel ; Popa, Gheorghe ; Hatanaka, Yoshinori

Thin solid films, 2006-12, Vol.515 (4), p.1334-1339 [Periódico revisado por pares]

Lausanne: Elsevier B.V

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