Guiding the deposition flux in an ionized magnetron discharge

Bohlmark, J. ; Östbye, M. ; Lattemann, M. ; Ljungcrantz, H. ; Rosell, T. ; Helmersson, U.

Thin solid films, 2006-12, Vol.515 (4), p.1928-1931 [Periódico revisado por pares]

Lausanne: Elsevier B.V

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