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Surface integrity evaluation of diamond turned single crystal silicon component

Renato Goulart Jasinevicius Jaime Gilberto Duduch; Francesco Lanciotti Junior; Paulo Sérgio Pizani; International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (4. 2004 Glasgow)

Proceedings of the euspen Glasgow, 2004

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Título:
Surface integrity evaluation of diamond turned single crystal silicon component
Autor: Renato Goulart Jasinevicius
Jaime Gilberto Duduch; Francesco Lanciotti Junior; Paulo Sérgio Pizani; International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (4. 2004 Glasgow)
Materias: ESPECTROSCOPIA RAMAN
Es parte de: Proceedings of the euspen Glasgow, 2004
Editor: Glasgow
Fecha de creación: 2004
Formato: p. 169-170.
Idioma: Inglés

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