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Ti atom and Ti ion number density evolution in standard and multi-pulse HiPIMS

Fekete, M ; Hnilica, J ; Vitelaru, C ; Minea, T ; Vašina, P

Journal of physics. D, Applied physics, 2017-09, Vol.50 (36), p.365202 [Periódico revisado por pares]

IOP Publishing

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