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Experimental study of preoxidation cleaning effects on the oxide growth rate

H Chen Luiz Sergio Zasnicoff 1945-2010; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (7. 1992 São Paulo)

Anais São Paulo : Sbmicro/Epusp, 1992

São Paulo Sbmicro/Epusp 1992

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Título:
Experimental study of preoxidation cleaning effects on the oxide growth rate
Autor: H Chen
Luiz Sergio Zasnicoff 1945-2010; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (7. 1992 São Paulo)
Assuntos: SEMICONDUTORES
É parte de: Anais São Paulo : Sbmicro/Epusp, 1992
Editor: São Paulo Sbmicro/Epusp
Data de criação/publicação: 1992
Formato: p.217-26.
Idioma: Inglês

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