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Hetero-Integration of β-Ga 2 O 3 and Diamond Substrates by Hydrophilic Bonding Technique

Matsumae, Takashi ; Kurashima, Yuichi ; Takagi, Hideki ; Umezawa, Hitoshi ; Tanaka, Koji ; Ito, Toshimitsu ; Watanabe, Hideyuki ; Higurashi, Eiji

ECS transactions, 2020-09, Vol.98 (4), p.17-20

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