Critical parameter determination of sonic flow controller diamond microtubes and micronozzles

Suelene da Silva Mammana Francisco Tadeu Degasperi; Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori; Danilo da Costa Sparapani; Murilo Ferrari Laino; Ricardo Cardoso Rangel; Fernanda de Sá Teixeira; Mauro Sérgio Dorsa Cattani

Journal of Vacuum Science & Technology B v. 25, n. 6, p. 1804-1807, 2007

Melville 2007

Acesso online