Desenvolvimento de um sistema multicâmara integrado para deposição e recozimento de filmes 'SI''O IND.2'
Nilton Itiro Morimoto 1962- Jacobus Willibrordus Swart 1950-
1995
Localização:
EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central
(FT-822 ) e outros locais(Acessar)