IR emission from the target during plasma magnetron sputter deposition
Cormier, P.-A. ; Thomann, A.-L. ; Dolique, V. ; Balhamri, A. ; Dussart, R. ; Semmar, N. ; Lecas, T. ; Brault, P. ; Snyders, R. ; Konstantinidis, S.
Thin solid films, 2013-10, Vol.545, p.44-49 [Periódico revisado por pares]Amsterdam: Elsevier B.V
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