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Vacuum-Packaged Suspended Microchannel Resonant Mass Sensor for Biomolecular Detection

Burg, T.P. ; Mirza, A.R. ; Milovic, N. ; Tsau, C.H. ; Popescu, G.A. ; Foster, J.S. ; Manalis, S.R.

Journal of microelectromechanical systems, 2006-12, Vol.15 (6), p.1466-1476 [Revista revisada por pares]

New York, NY: IEEE

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