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Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD
Gustavo Pamplona Rehder 1979- Marcelo Nelson Paez Carreño 1962-
2005
Localização:
EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central
(FD-4198 )
(Acessar)
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