Idioma:

A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications

Alessandro Ricardo Oliveira Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-

Physica Status Solidi C Weinheim v. 7, n. 3/4, p. 793-796, 2010

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Título:
A study of metal contact properties on thermal annealed PECVD SiC thin films for MEMS applications
Autor: Alessandro Ricardo Oliveira
Inés Pereyra 1947-; Marcelo Nelson Páez Carreño 1962-
Assuntos: FILMES FINOS; SEMICONDUTORES; METAIS; PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA; SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
É parte de: Physica Status Solidi C Weinheim v. 7, n. 3/4, p. 793-796, 2010
Notas: Disponível em: https://doi.org/10.1002/pssc.200982839. Acesso em: 02 jul. 2021
Editor: Weinheim
Data de criação/publicação: 2010
Formato: p. 793-796.
Idioma: Inglês

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