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Produção e caracterização de filmes finos de silício amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz.

Fragalli, Jose Fernando

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física de São Carlos 1994-10-28

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

  • Título:
    Produção e caracterização de filmes finos de silício amorfo hidrogenado por descarga luminescente a 60hz.
  • Autor: Fragalli, Jose Fernando
  • Orientador: Bagnato, Vanderlei Salvador
  • Assuntos: Descarga Luminescente; Silício Amorfo Hidrogenado; Propriedades Ópticas; Propriedades Estruturais; Propriedades Elétricas; Optical Properties; Hydrogenated Amorphous Silicon; Glow Discharge; Electrical Properties; Structural Properties
  • Notas: Tese (Doutorado)
  • Descrição: Apresentamos neste trabalho uma técnica alternativa para a obtenção de filmes finos de silício amorfo hidrogenado (α-Si:H). Nós depositamos α-Si:H em um sistema de deposição que utiliza descarga luminescente a baixas freqüências (60Hz). Para tanto, nós projetamos todo o reator para que este objetivo pudesse ser atingido. Os filmes obtidos por nós mostram propriedades ópticas e eletrônicas bastante próximas aquelas dos filmes produzidos pela técnica convencional de descarga luminescente a radiofreqüência (13,56 MHz). A temperatura do substrato ótima para a técnica de descarga luminescente a baixas freqüências está na faixa 150-170°C, em torno de 100°C menor do que aquela usada para radiofreqüência. Neste trabalho nós apresentamos medidas das propriedades dos filmes, incluindo condutividade no escuro, fotocondutividade, comprimento de difusão ambipolar, absorção no infra-vermelho, gap óptico, e densidade de defeitos de níveis profundos. Para realizar parte destas medidas, nós construímos sistemas experimentais de caracterização exclusivos para o α-Si:H.
  • DOI: 10.11606/T.76.1994.tde-09062009-090951
  • Editor: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física de São Carlos
  • Data de criação/publicação: 1994-10-28
  • Formato: Adobe PDF
  • Idioma: Português
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  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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