The MEMS handbook

• Autor: M Gad-el-Hak
• Assuntos: Mechanical engineering -- Handbooks, manuals, etc; ENGENHARIA MECÂNICA; SISTEMAS MICROELETROMECÂNICOS
• Notas: Includes bibliographical references and index
  
• Títulos relacionados: Série:The Mechanical engineering handbook series
• Editor: Boca Raton, FL CRC Press
  
• Data de criação/publicação: c2002
  
• Formato: 1 v. (various pagings) ill. 26 cm.
  
• Idioma: Inglês