Estudo do mecanismo de crescimento de SiMc:H em função da espessura das películas e do tipo de substrato

Ely Antonio Tadeu Dirani Adnei Melges de Andrade 1943-; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica (7. 1992 São Paulo)

Anais São Paulo : SBMICRO/EPUSP, 1992

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Título:
Estudo do mecanismo de crescimento de SiMc:H em função da espessura das películas e do tipo de substrato
Autor: Ely Antonio Tadeu Dirani
Adnei Melges de Andrade 1943-; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletrônica (7. 1992 São Paulo)
Assuntos: DISPOSITIVOS ELETRÔNICOS
É parte de: Anais São Paulo : SBMICRO/EPUSP, 1992
Editor: São Paulo SBMICRO/EPUSP
Data de criação/publicação: 1992
Formato: p. 493-498.
Idioma: Português

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