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Corrosao de trincheiras em silicio com plasma de c'BR''F IND.3'
R K Yamamoto H. S Maciel; Congresso da Sociedade Brasileira de Microeletronica (7. 1992 São Paulo)
Anais São Paulo : Sbmicro/Epusp, 1992
São Paulo Sbmicro/Epusp 1992
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