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Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD

Antonio Pereira do Nascimento Filho Cristian Otsuka Hamanaka; Dosil Pereira de Jesus; Maria Lucia Pereira da Silva 1957-; Nicole Raymonde Demarquette 1966-

Martino J.A. ; Pavanello, M.A. ; Morimoto, N.I. eds Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003 Pennington : Electrochemical Society, 2003

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Título:
Influence of RF frequency on production of adsorbent organic films by PECVD
Autor: Antonio Pereira do Nascimento Filho
Cristian Otsuka Hamanaka; Dosil Pereira de Jesus; Maria Lucia Pereira da Silva 1957-; Nicole Raymonde Demarquette 1966-
Assuntos: MICROELETRÔNICA
É parte de: Martino J.A. ; Pavanello, M.A. ; Morimoto, N.I. eds Microelectronic Technology and Devices SBMicro 2003 Pennington : Electrochemical Society, 2003
Títulos relacionados: Série:Proceedings, v. 2003-9 / 18. International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2003, São Paulo
Editor: Pennington Electrochemical Society
Data de criação/publicação: 2003
Formato: p. 380-388.
Idioma: Inglês

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