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Estimation of indium‐to‐germanium and gallium‐to‐germanium sputtering yield ratios using cosputtering deposition

David Comedi F Fajardo; I Chambouleyron; Manfredo Tabacniks

Journal of Vacuum Science & Technology A Maryland: American Physical Society, 1994 v. 12, n. 6, p. 3149-3151

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Título:
Estimation of indium‐to‐germanium and gallium‐to‐germanium sputtering yield ratios using cosputtering deposition
Autor: David Comedi
F Fajardo; I Chambouleyron; Manfredo Tabacniks
Assuntos: FÍSICA NUCLEAR; FILMES FINOS; MATERIAIS; FÍSICA DE PARTÍCULAS; RAIOS X; ÍNDIO (ELEMENTO QUÍMICO); GERMÂNIO; Particle-Induced X-Ray Emission; Chemical Elements; Rutherford Backscattering Spectrometry
É parte de: Journal of Vacuum Science & Technology A Maryland: American Physical Society, 1994 v. 12, n. 6, p. 3149-3151
Notas: Disponível em: https://doi.org/10.1116/1.579229. Acesso em: 25 jun. 2021
Editor: Maryland
Data de criação/publicação: 1994
Formato: v. 12, n. 6, p. 3149-3151.
Idioma: Inglês

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