Synthesis of Al-Doped ZnO Films Assisted with Hollow-Cathode Glow Discharge and Their Characterization

Queiroz, J. C. A. ; Naeem, M. ; Filho, J. B. A. ; Libório, M. S. ; Santos, E. J. C. ; Feitor, M. C. ; Sousa, R. R. M. ; Costa, T. H. C. ; Khan, K. H.

Journal of electronic materials, 2021-05, Vol.50 (5), p.2687-2698 [Periódico revisado por pares]

New York: Springer US

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