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Nanoenergetic Materials for MEMS: A Review

Rossi, C. ; Kaili Zhang ; Esteve, D. ; Alphonse, P. ; Tailhades, P. ; Vahlas, C.

Journal of microelectromechanical systems, 2007-08, Vol.16 (4), p.919-931 [Periódico revisado por pares]

New York, NY: IEEE

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