Ion assistance effects on electron beam deposited MgF2 films
Alvisi, M. ; De Tomasi, F. ; Della Patria, A. ; Di Giulio, M. ; Masetti, E. ; Perrone, M. R. ; Protopapa, M. L. ; Tepore, A.
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2002-05, Vol.20 (3), p.714-720 [Periódico revisado por pares]Texto completo disponível