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Simulações de descargas de RF capacitivas modeladas pelo Método de Monte Carlo partícula-na-célula

Elias Rodrigues Cizzoto Patrick Bernard Verdonck 1958-

2003

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FD-3369 ) e outros locais(Acessar)

  • Título:
    Simulações de descargas de RF capacitivas modeladas pelo Método de Monte Carlo partícula-na-célula
  • Autor: Elias Rodrigues Cizzoto
  • Patrick Bernard Verdonck 1958-
  • Assuntos: DESCARGA ELÉTRICA; MÉTODO DE MONTE CARLO
  • Notas: Dissertação (Mestrado)
  • Notas Locais: Programa Engenharia Elétrica
  • Descrição: Neste trabalho foram feitas simulações de descargas de RF e comparações dos resultados simulados com medidas experimentais. Foi utilizado um código computacional de partículas, denominado particle-in-cell Monte Carlo Collision (PIC - MCC). Foram feitas simulações para dois valores para a pressão do gás argônio, utilizando-se três valores para o coeficiente de emissão de elétrons secundários devido à incidência de íons (0 ; 0,2 ; 0,4). Verificou-se que as funções de distribuição da energia indicaram ser bi - Maxwellianas para as espécies analisadas (elétrons, íons Ar´POT.+´ e espécies excitadas Ar´POT.m´). O perfil de densidade das espécies do plasma indicou ser dependente da pressão, sendo parabólico, para 50 mTorr, e tendo um perfil com dois picos laterais e um vale central, para 500 mTorr. Com o aumento do coeficiente de emissão de elétrons secundários, aumenta a densidade e a energia das espécies do plasma, aumentando a potência do sistema. A densidade apresentou um aumento aproximadamente exponencial no tempo, chegando a valores acima da realidade. Assim, incluiu-se uma sub-rotina para simular a recombinação de íons positivos com elétrons. Agora, a densidade apresentou um aumento linear no tempo e, mesmo após 0,3 milisegundos, ainda não fica estável, chegando-se a 4 · 10´POT.10´ cm-³.
  • Data de criação/publicação: 2003
  • Formato: 93 p apêndices.
  • Idioma: Português
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