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Kinetics and morphology of erbium silicide formation

KNAPP, J. A ; PICRAUX, S. T ; WU, C. S ; LAU, S. S

J. Appl. Phys.; (United States), 1985-11, Vol.58 (10), p.3747-3757 [Periódico revisado por pares]

Woodbury, NY: American Institute of Physics

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