Plasma Sources for Thin Film Deposition and Etching
ABCD PBi
Plasma Sources for Thin Film Deposition and Etching
Autor:
Maurice H. Francombe
John L Vossen
Notas:
Includes bibliographical references and indexes
Editor:
Elsevier
Data de criação/publicação:
1994
Idioma:
Inglês
Disponível na Biblioteca:
IF - Instituto de Física (MS PHTF v.18 )