Plasma Sources for Thin Film Deposition and Etching
ABCD PBi


Plasma Sources for Thin Film Deposition and Etching

  • Autor: Maurice H. Francombe
  • John L Vossen
  • Notas: Includes bibliographical references and indexes
  • Editor: Elsevier
  • Data de criação/publicação: 1994
  • Idioma: Inglês
 
Disponível na Biblioteca:
  • IF - Instituto de Física (MS PHTF v.18 )