Processing of GaN/Si(111) Epitaxial Structures for MEMS Applications

Shubina, K. Yu ; Berezovskaya, T. N. ; Mokhov, D. V. ; Morozov, I. A. ; Kotlyar, K. P. ; Mizerov, A. M. ; Nikitina, E. V. ; Bouravleuv, A. D.

Semiconductors (Woodbury, N.Y.), 2018-12, Vol.52 (16), p.2117-2119 [Periódico revisado por pares]

Moscow: Pleiades Publishing

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