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Plasma etching of aluminium using Bc13-C12 mixtures. (em CD-Rom)

A M Nakazawa Patrick Bernard Verdonck 1958-; Conference of the Brazilian Microelectronics Society (12. 1997 Caxambu)

Proceedings Itajubá : SBMICRO/EFEI, 1997

Itajubá SBMICRO/EFEI 1997

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Título:
Plasma etching of aluminium using Bc13-C12 mixtures. (em CD-Rom)
Autor: A M Nakazawa
Patrick Bernard Verdonck 1958-; Conference of the Brazilian Microelectronics Society (12. 1997 Caxambu)
Assuntos: CIRCUITOS INTEGRADOS; SEMICONDUTORES
É parte de: Proceedings Itajubá : SBMICRO/EFEI, 1997
Editor: Itajubá SBMICRO/EFEI
Data de criação/publicação: 1997
Idioma: Inglês

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