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Aluminium etching with CC14-N2 plasma
Angela Makie Nakazawa Patrick Bernard
Verdonck
1958-
São Paulo EPUSP 1997
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Título:
Aluminium etching with CC14-N2 plasma
Autor:
Angela Makie Nakazawa
Patrick Bernard
Verdonck
1958-
Assuntos:
CIRCUITOS INTEGRADOS
Títulos relacionados:
Série:Boletim Técnico da Escola Politécnica da USP. Departamento de Engenharia Eletrônica, BT/PEE/9718
Editor:
São Paulo EPUSP
Data de criação/publicação:
1997
Formato:
3 p.
Idioma:
Inglês
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