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Characterization of SF6 plasmas by RF electrical measurements

Marcelo Bento Pisani Patrick Bernard Verdonck 1958-

Morimoto, N.I.; Ribas, P.R.; Verdonck, P.B., eds Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002 Pennington : The Electrochemical Society, 2002

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Título:
Characterization of SF6 plasmas by RF electrical measurements
Autor: Marcelo Bento Pisani
Patrick Bernard Verdonck 1958-
Assuntos: MICROELETRÔNICA
É parte de: Morimoto, N.I.; Ribas, P.R.; Verdonck, P.B., eds Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002 Pennington : The Electrochemical Society, 2002
Notas Locais: ( Proceedings, v. 2002-8) / 17. International Symposium on Microelectronics Technology and Devices SBMICRO 2002, Porto Alegre, 2002
Editor: Pennington The Electrochemical Society
Data de criação/publicação: 2002
Formato: p. 168-177.
Idioma: Inglês

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