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Estudo sobre danos induzidos por plasma

Patrick Bernard Verdonck 1958-

1998

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FT-1155 ) e outros locais(Acessar)

  • Título:
    Estudo sobre danos induzidos por plasma
  • Autor: Patrick Bernard Verdonck 1958-
  • Assuntos: ENGENHARIA ELÉTRICA
  • Notas: Tese (Livre Docência)
  • Descrição: Neste trabalho foi feito um estudo sobre vários tipos de danos induzidos por plasma. Na parte experimental, estudamos o fenômeno de rugosidade induzida por corrosão por plasma em superfícies de silício. Primeiramente, determinamos qual procedimento a ser usado para medir e determinar a rugosidade. Para isso introduzimos o parâmetro "rugosidade normalizada" que é a rugosidade média medida na superfície sobre a profundidade da estrutura corroída. Verificamos que os seguintes parâmetros são os mais importantes na geração da rugosidade no silício: presença de oxigênio no plasma, presença do óxido nativo na superfície do silício antes da corrosão, material da máscara, tensão DC no eletrodo e modo do plasma (RIE ou ICP). Estudamos também a contaminação metálica induzida pelo plasma. Determinamos que o material do eletrodo é o fator principal da contaminação. Verificamos que uma limpeza RCA padrão não remove estas impurezas. Uma imersão em HF diluído remove todos os metais menos o cobre e o níquel. Cobre é redepositada pelo efeito "plating". Mostramos que é muito provável que o nível esteja presente na forma de um siliceto de níquel estável que não é removido por etapas de limpeza padrão.
  • Data de criação/publicação: 1998
  • Formato: 147 p.
  • Idioma: Português
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  • Realização: ABCD-USP USP   Logos de Redes Sociais: Freepik

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