skip to main content
Visitante
Meu Espaço
Minha Conta
Sair
Identificação
This feature requires javascript
Tags
Revistas Eletrônicas (eJournals)
Livros Eletrônicos (eBooks)
Bases de Dados
Bibliotecas USP
Ajuda
Ajuda
Idioma:
Inglês
Espanhol
Português
This feature required javascript
This feature requires javascript
Primo Search
Busca Geral
Busca Geral
Acervo Físico
Acervo Físico
Produção Intelectual da USP
Produção USP
Search For:
Clear Search Box
Search in:
Busca Geral
Or hit Enter to replace search target
Or select another collection:
Search in:
Busca Geral
Busca Avançada
Busca por Índices
This feature requires javascript
This feature requires javascript
Atomic layer deposition of tungsten using sequential surface chemistry with a sacrificial stripping reaction
Klaus, J.W ; Ferro, S.J ; George, S.M
Thin solid films, 2000-02, Vol.360 (1), p.145-153
[Periódico revisado por pares]
Lausanne: Elsevier B.V
Texto completo disponível
Citações
Citado por
Exibir Online
Detalhes
Resenhas & Tags
Mais Opções
Nº de Citações
Abrir fonte em uma nova janela
Enviar para
Adicionar ao Meu Espaço
Remover do Meu Espaço
E-mail (máximo 30 registros por vez)
Imprimir
Link permanente
Referência
EasyBib
EndNote
RefWorks
del.icio.us
Exportar RIS
Exportar BibTeX
This feature requires javascript
<a href="https://metalibsfx.aguia.usp.br:3443/sfxlcl41?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-07-26T03%3A21%3A32IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-proquest_cross&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.genre=article&rft.atitle=Atomic%20layer%20deposition%20of%20tungsten%20using%20sequential%20surface%20chemistry%20with%20a%20sacrificial%20stripping%20reaction&rft.jtitle=Thin%20solid%20films&rft.au=Klaus,%20J.W&rft.date=2000-02-01&rft.volume=360&rft.issue=1&rft.spage=145&rft.epage=153&rft.pages=145-153&rft.issn=0040-6090&rft.eissn=1879-2731&rft.coden=THSFAP&rft_id=info:doi/10.1016/S0040-6090(99)01076-7&svc_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:sch_svc&svc.fulltext=yes&rft_dat=%3Cproquest_cross%3E27777725%3C/proquest_cross%3E%3Cgrp_id%3Ecdi_FETCH-LOGICAL-c367t-b4ad82a91d06aee1c859ebed5a5f169485524f2566ee7dd2325256a1fbb8b7513%3C/grp_id%3E%3Coa%3E%3C/oa%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&rft_id=info:oai/&rft_pqid=27777725&rft_id=info:pmid/" target="_blank">To get to the resource you are seeking: Abrir fonte em uma nova janela</a>
This feature requires javascript
Voltar para lista de resultados
Anterior
Resultado
2
Avançar
This feature requires javascript
This feature requires javascript
Buscando em bases de dados remotas. Favor aguardar.
Buscando por
em
scope:(USP_VIDEOS),scope:("PRIMO"),scope:(USP_FISICO),scope:(USP_EREVISTAS),scope:(USP),scope:(USP_EBOOKS),scope:(USP_PRODUCAO),primo_central_multiple_fe
Mostrar o que foi encontrado até o momento
This feature requires javascript
This feature requires javascript
Anterior
Página Inicial
RSS
Feed
Políticas
Fale Conosco
Logos de Redes Sociais: 
Logos de Redes Sociais: