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Maskless ion implantation of cerium by focused ion beam

KAGAMI, M ; SHIOKAWA, T ; SEGAWA, Y ; AOYAGI, Y ; NAMBA, S ; OKADA, H ; ITO, T

Japanese Journal of Applied Physics, 1988-06, Vol.27 (6), p.L1157-L1159 [Periódico revisado por pares]

Tokyo: Japanese journal of applied physics

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