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Fabricação e caracterização de MEMS de carbeto de silício (a-SiC:H) obtido por PECVD

Gustavo Pamplona Rehder 1979- Marcelo Nelson Paez Carreño 1962-

2005

Localização: EPBC - Esc. Politécnica-Bib Central    (FD-4198 )(Acessar)

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