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Silicon wall profiles generated by isotropic dry etching process

Ronaldo Domingues Mansano 1964- Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel; International Colloquium on Plasma Processes (11. 1997 Le Mans)

CIP'97 : proceedings Paris : Sociéte Française du Vide, 1997

Paris Société Française du Vide 1997

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