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Study of of the influence of the secondary electron emission coefficient in radio-frequency argonplasmas using particle in cell simulation

Elias Rodrigues Cizzoto Marisa Roberto; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices - SBMICRO (18. 2003 São Paulo)

Proceedings. Pennington : The Electrochemical Society, 2003

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Título:
Study of of the influence of the secondary electron emission coefficient in radio-frequency argonplasmas using particle in cell simulation
Autor: Elias Rodrigues Cizzoto
Marisa Roberto; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Homero Santiago Maciel; International Symposium on Microelectronics Technology and Devices - SBMICRO (18. 2003 São Paulo)
Assuntos: PLASMA (MICROELETRÔNICA)
É parte de: Proceedings. Pennington : The Electrochemical Society, 2003
Editor: Pennington The Electrochemical Society
Data de criação/publicação: 2003
Formato: p. 241-248.
Idioma: Inglês

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