High vacuum production in the microelectronics industry

Pierre Duval 1874-1941 Alcatel Vacuum Technology (Firm)

Localização: EPELM - Esc. Politécnica-Bib Eng Elet., Mec. e Naval (621.3.049.77 D956h ) e outros locais(Acessar)

Título:
High vacuum production in the microelectronics industry
Autor: Pierre Duval 1874-1941
Alcatel Vacuum Technology (Firm)
Assuntos: Vapor-plating; Microelectronics; Vacuum technology; REVESTIMENTO DE SUPERFÍCIES; MICROELETRÔNICA; TECNOLOGIA DO VÁCUO; Microelectronics industries Applications of vacuum technology
Notas: Bibliography: p. 163-167
Títulos relacionados: Série:Plasma technology 2
Editor: Amsterdam New York Elsevier
Data de criação/publicação: 1988
Formato: xiii, 222 p. ill. 25 cm.
Idioma: Inglês

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