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Plasma-based ion implantation & deposition
International Workshop Plasma-Based Ion Implantation & Deposition 2007 Leipzig, Germany)
Warsaw Wiley-VCH 2008
Localização:
IF - Instituto de Física
(MS PHSSC v.5 n.4 )
(Acessar)
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Título:
Plasma-based ion implantation & deposition
Autor:
International Workshop Plasma-Based Ion Implantation & Deposition 2007 Leipzig, Germany)
Assuntos:
FÍSICA DO ESTADO SÓLIDO (CONGRESSOS)
Títulos relacionados:
Série:Physica Status Solidi C 5, n.4
Editor:
Warsaw Wiley-VCH
Data de criação/publicação:
2008
Idioma:
Inglês
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