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Microstructure characterization of magnetron sputtered Ti and Zr thin films

Eliane F. Chinaglia Ivette Frida Cymbaum Oppenheim 1953-2019; Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais (1. 2002 Rio de Janeiro)

Programa e Livro de Resumos Rio de Janeiro, 2002

Rio de Janeiro SBPMat 2002

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Título:
Microstructure characterization of magnetron sputtered Ti and Zr thin films
Autor: Eliane F. Chinaglia
Ivette Frida Cymbaum Oppenheim 1953-2019; Encontro da Sociedade Brasileira de Pesquisa em Materiais (1. 2002 Rio de Janeiro)
Assuntos: MATERIAIS; FILMES FINOS
É parte de: Programa e Livro de Resumos Rio de Janeiro, 2002
Editor: Rio de Janeiro SBPMat
Data de criação/publicação: 2002
Formato: p. 238.
Idioma: Inglês

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