Chemical and structural properties of polymorphous silicon thin films grown from dichlorosilane

Álvarez-Macías, C. ; Monroy, B.M. ; Huerta, L. ; Canseco-Martínez, M.A. ; Picquart, M. ; Santoyo-Salazar, J. ; Sánchez, M.F. García ; Santana, G.

Applied surface science, 2013-11, Vol.285, p.431-439 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier B.V

Texto completo disponível