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Development of a silicon microprobe for no detection

Marcelo Bariatto Andrade Fontes Jorge Juan Santiago-Avilés; Rogério Furlan 1959-; Apresentado ao 3. Micromachining and Microfabrication Process Technology (1997 Austin)

Proceedings of SPIE Bellingham v. 3223, p. 64-71, 1997

Bellingham 1997

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