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Atmospheric Pressure Chemical Vapour Deposition of TiCl4 and tBuAsH2 to Form Titanium Arsenide Thin Films

Thomas, Tegan ; Blackman, Christopher S. ; Parkin, Ivan P. ; Carmalt, Claire J.

European Journal of Inorganic Chemistry, 2010, Vol.2010 (36), p.5629-5634 [Periódico revisado por pares]

Weinheim: WILEY-VCH Verlag

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