Uma geometria alternativa para detecção do espalhamento de luz LASER por partículas e micro-rugosidades em superfícies de silício.
Souza Filho, José Cândido De
Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Escola Politécnica 2008-07-01
Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.