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The applicability of Langmuir probes for end point detection of polymer etching

Ronaldo Domingues Mansano 1964- Paula Maria Nogueira; Luís da Silva Zambom; Patrick Bernard Verdonck 1958-; Marcos Massi; Homero Santiago Maciel; International Conference on Microelectronics and Packaging (14. 1999 Campinas)

ICMP 99: technical digest São Paulo : SBMicro/IMAPS, 1999

São Paulo SBMicro/IMAPS 1999

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