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Electron emission enhanced chemical vapor deposition (EEECVD) for the fabrication of diverse silicon-containing films
Bica de Moraes, M.A ; Durrant, S.F ; Rouxinol, F.P
Thin solid films, 2001-11, Vol.398, p.591-596
[Periódico revisado por pares]
Elsevier B.V
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