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Medidas de expoentes críticos de filmes de diamante por meio de microscopia de força atômica

Silveira, Marcilei Aparecida Guazzelli Da

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

Título:
Medidas de expoentes críticos de filmes de diamante por meio de microscopia de força atômica
Autor: Silveira, Marcilei Aparecida Guazzelli Da
Orientador: Salvadori, Maria Cecilia Barbosa da Silveira
Assuntos: Microscopia De Força Atômica; Leis De Escala; Expoentes Críticos; Filmes De Diamante; Kpz; Atomic Force Microscopy; Diamond Films; Critical Exponents; Scale Laws
Notas: Dissertação (Mestrado)
Descrição: Neste trabalho investigamos a dinâmica de crescimento de filmes de diamante sintetizados por meio de deposição química a vapor ativada por plasma de microondas (CVD). A caracterização foi feita utilizando, fundamentalmente, microscopia de força atômica (AFM). Analisamos o comportamento da rugosidade dos filmes como função da escala de observação e do tempo de deposição. Dessa maneira verificamos a existência de leis de potência para o crescimento e determinamos os expoentes críticos associados a essas leis. Os resultados obtidos estão em bom acordo com o processo de crescimento descrito pela equação estocástica KPZ. Os mecanismos principais são a deposição aleatória de partículas na superfície, o crescimento lateral e a dessorção.
DOI: 10.11606/D.43.1999.tde-19062015-165612
Editor: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física
Data de criação/publicação: 1999-05-28
Formato: Adobe PDF
Idioma: Português

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