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Medida de topografia de superfície usando a técnica de deslocamento de fase

Soga, Diogo

Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física 2000-12-08

Acesso online. A biblioteca também possui exemplares impressos.

  • Título:
    Medida de topografia de superfície usando a técnica de deslocamento de fase
  • Autor: Soga, Diogo
  • Orientador: Muramatsu, Mikiya
  • Assuntos: Deslocamento De Fase; Topografia De Superfície; Técnica Não-Destrutiva; Retirada De Ambiguidade; Interferometria Laser; Phase Shift; Non-Destructive Technique; Surface Topography; Laser Interferometry; Withdrawal Of Ambiguity
  • Notas: Dissertação (Mestrado)
  • Descrição: Neste trabalho, medimos o perfil 3D de superfícies (microtopografia) utilizando uma técnica de interferometria óptica: Phase-Shi,ftzng (Deslocamento de Fase). Utilizamos um interferômetro do tipo Twyman-Green para produzir fi.guras de interferência da superfície analisada. Essas imagens foram armazenadas usando-se uma câmera CCD ligada à um microcomputador. Para obter a microtopografia, calculamos o Mapa de Fase a partir das imagens digitalizadas usando um programa de microcomputador. Posteriormente um outro programa removeu a ambiguidade da função tangente (unwrapping), pela Técnica do Autômato Celular, usada no cáiculo do Mapa de Fase. Então efetuamos os cálculos para determinar a microtopografia da superfície. Depois fizemos a análise da microtopografia, levantando informações relevantes para a sua caracterização. Analisamos objetos com alta refletividade (espelhos planos e redes de Ronchi) e obtivemos bons resultados. Também comparamos alguns dos resultados obtidos com a técnica de Deslocamento de Fase com os resultados obtidos pela análise de Franjas de Igual Espessura.
  • DOI: 10.11606/D.43.2000.tde-02082013-153443
  • Editor: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da USP; Universidade de São Paulo; Instituto de Física
  • Data de criação/publicação: 2000-12-08
  • Formato: Adobe PDF
  • Idioma: Português
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