Idioma:

Correcao de formas e fabricacao de interconeccoes metalicas em escala nanometrica atraves da litografia por feixe de eletrons

Marcelo de Assumpção Pereira da Silva Y V Nastaushev; J C Rossi; Pierre Basmaji; G M Gusev; M A Aegerter; Simposio Brasileiro de Microscopia Eletronica e Tecnicas Associadas a Pesquisa de Materiais (4. 1994 São Carlos)

Anais São Paulo : Sociedade Brasileira de Miscroscopia Eletronica, 1994

Localização: IFSC - Inst. Física de São Carlos (PROD003181 ) e outros locais(Acessar)

Título:
Correcao de formas e fabricacao de interconeccoes metalicas em escala nanometrica atraves da litografia por feixe de eletrons
Autor: Marcelo de Assumpção Pereira da Silva
Y V Nastaushev; J C Rossi; Pierre Basmaji; G M Gusev; M A Aegerter; Simposio Brasileiro de Microscopia Eletronica e Tecnicas Associadas a Pesquisa de Materiais (4. 1994 São Carlos)
Assuntos: MATÉRIA CONDENSADA
É parte de: Anais São Paulo : Sociedade Brasileira de Miscroscopia Eletronica, 1994
Editor: São Paulo Sociedade Brasileira de Miscroscopia Eletronica
Data de criação/publicação: 1994
Formato: p.559-62.
Idioma: Português

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