Geracao de mascaras em escala nano e micrometrica por litografia eletronica

• Autor: Marcelo de Assumpção Pereira da Silva
• Y V Nastaushev; Pierre Basmaji; J C Rossi; M A Aegerter; Congresso Brasileiro de Ceramica (38. 1994 Blumenau); Encontro de Mineradores e Consumidores (2. 1994 Blumenau)
• Assuntos: MATÉRIA CONDENSADA
• É parte de: Anais São Paulo : Associacao Brasileira de Ceramica, 1994
• Editor: São Paulo Associacao Brasileira de Ceramica
  
• Data de criação/publicação: 1994
  
• Formato: p. 144-148.
  
• Idioma: Português