Characterisation of JSR’s spin-on hardmask FF-02

Das, A. ; Le, Q.T. ; Furukawa, Y. ; Nguyen, V.H. ; Terzieva, V. ; de Theije, F. ; Whelan, C.M. ; Maenhoudt, M. ; Struyf, H. ; Tókei, Zs ; Iacopi, F. ; Stucchi, M. ; Carbonell, L. ; Vos, I. ; Bender, H. ; Patz, M. ; Beyer, G. ; Van Hove, M. ; Maex, K.

Microelectronic engineering, 2003-11, Vol.70 (2), p.308-313 [Periódico revisado por pares]

Amsterdam: Elsevier B.V

Texto completo disponível